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使用Logitech研磨拋光設(shè)備提升砷化鎵(GaAs)晶圓生產(chǎn)效率和質(zhì)量
更新時(shí)間:2025-08-22   點(diǎn)擊次數(shù):604次

砷化鎵(GaAs)晶圓屬于軟脆材料,行業(yè)對(duì)其研磨拋光后的參數(shù)指標(biāo)普遍要求是:平整度控制在±2um以內(nèi),TTV(總厚度變化)控制在每25mm區(qū)域1um以內(nèi)在滿足參數(shù)指標(biāo)的前提下,提升生產(chǎn)效率和質(zhì)量,一直是Logitech所追求的目標(biāo)。Logitech研磨拋光設(shè)備,是能滿足以上要求??蓪?shí)現(xiàn)8英寸及以下砷化鎵(GaAs)晶圓研磨和拋光,具有以下特點(diǎn):

特點(diǎn)一:采用在線盤平整度檢測(cè)與控制。研磨盤的平整度,對(duì)研磨出的樣品至關(guān)重要!Logitech研磨拋光設(shè)備,修盤時(shí),無需停止樣品研磨,設(shè)備可在樣品研磨的同時(shí),在線監(jiān)測(cè)盤的平整度,根據(jù)研磨需要自動(dòng)調(diào)整臂的位置,以保持或改變研磨盤的平整度,使研磨盤達(dá)到用戶想要的盤目標(biāo)形狀,盤平整度控制的好,研磨出的樣品的品質(zhì)就高,此過程全程無需人工手動(dòng)干預(yù),大大提升生產(chǎn)效率和質(zhì)量。

特點(diǎn)二:采用動(dòng)態(tài)研磨工藝。在制造砷化鎵(GaAs)晶時(shí),為了減少表面損傷,改善表面粗糙度Ra,可以采用動(dòng)態(tài)研磨工藝,初始載重較高,比如4倍,然后隨著砷化鎵(GaAs)晶圓的厚度逐漸減小,載重也分階段降低至3倍、2倍,最后達(dá)到1倍,直至達(dá)到樣品最終的研磨目標(biāo)厚度。在研磨過程中,較輕的載重有效減少表面的損傷,產(chǎn)生更好的表面粗糙度Ra,從而縮短后續(xù)拋光時(shí)間。Logitech設(shè)備可通過一次連續(xù)操作完成這一系列的載重調(diào)整的過程,大幅度提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。

以邏輯Akribis-air設(shè)備為例,6英寸砷化鎵(GaAs)晶圓研磨拋光試驗(yàn)數(shù)據(jù)如下:

研磨:保持恒定的速,使用的三種研磨料對(duì)6英寸砷化鎵(GaAs)進(jìn)行六次研磨,其中兩次使用3倍(3x)夾具載重,兩次使用2倍2x夾具載重,還有兩次使用1倍x夾具載重,對(duì)應(yīng)的材料去除率如下:

圖片1.png


拋光:保持恒定的盤速70轉(zhuǎn)/分,使用Logitech專有Chemlox拋光液作為拋光液,對(duì)6英寸砷化鎵(GaAs)進(jìn)行六次拋光,其中兩次拋光使用4倍4x夾具載重,兩次使用3倍3x夾具載重,還有兩次使用2倍2x夾具載重,對(duì)應(yīng)材料去除率如下:

圖片2.png


試驗(yàn)數(shù)據(jù)表明,Logitech 設(shè)備在砷化鎵(GaAs)晶圓生產(chǎn)方面,有穩(wěn)定的材料去除率,設(shè)備加工樣品重復(fù)性高,通過在線對(duì)盤的平整度的控制以及動(dòng)態(tài)研磨技術(shù)控制樣品的平整度,降低表面粗糙度Ra,省時(shí)省力,提高了生產(chǎn)效率和加工質(zhì)量。


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